该厂为89英寸晶圆生产销售线配套方案的超去离子水整体,一天到晚存在含硅污废水 150吨。污废水 中虽无巨资属,但硅含氧量高易积垢,且电容率需可达18MΩ·cm就可以回收。应有加工鑫霖环保没有达到新公布的《电商工艺水废弃物物减排标准》(GB39731-2020)很大减排限制值。
废渣的成分显著特点
重要被污染的物
:固体硅(200-300mg/L)、小粒硅(孔径0.1-1μm)
层次性需求
:TOC<10μg/L,硼含水量<5μg/L
水硬度特质
:低水的电导率(<50μS/cm)但硅氧化物社会形态比较复杂
治理 生产工艺制作工艺
科技创新适用"梯级膜剥离+电去铁离子"组合公式工艺设备:
微滤预加工
:1μm瓷器膜过滤大颗粒物硅,通量保护80LMH
铁离子相互交换树脂胶
:D201大孔树酯进行性活性炭吸附硅酸团伙
下级RO整体
:首先段收购 率60%,二是段采用了高脱硼膜电气元件
EDI电去阴离子
:交流电密度计算2A/m²,延续清除残留阴离子
紫外线除臭
:254nm分光光度计线含量40mJ/cm²
工艺难点
开发建设常用阻硅剂(有机酸胺类混合物),延长膜严重污染过渡期3倍
EDI板块多元化流道设计构思,硅弄掉率增强至99.8%
手机在线硅数据检测仪(检测区间0.1-500μg/L)建立会员精准营销掌控
启动举措
经第三个方加测:
总硅从280mg/L降为0.05mg/L
硼成分从8μg/L低于0.3μg/L
体统回收并率从原40%完善至68%
膜拆换周期怎么算调长至5年,年电脑运行费用削减35%